清洗機(jī)可以用于對晶圓表面,背面及晶圓邊緣的清洗,通過創(chuàng)新研發(fā)的二流體噴嘴技術(shù)可將附著在晶圓表面的細(xì)微顆粒污染物去除,實現(xiàn)高效去除。通過大量仿真與工藝試驗相結(jié)合,優(yōu)化出佳的清洗工藝參數(shù),確保不損傷晶圓表面的圖形;對于微米別大顆粒,采用特殊材料的毛刷或高壓噴淋對晶圓進(jìn)行擦洗去除。配合晶圓翻轉(zhuǎn)裝置和夾持式承片臺,可在同一臺設(shè)備中實現(xiàn)對晶圓的正反兩面進(jìn)行清洗。
更新時間:2025-09-09